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职业是一个高耗水职业,且对水质的要求极为严苛,需求用超纯水。详细而言,半导体制作需求的光刻、刻蚀、化学机械抛光等每一步前后,都需求重复清洗晶圆,以去除细小的颗粒、化学试剂残留和金属离子污染,整理洗刷作用对晶圆良率的影响非常大,哪怕是极微量杂质,都可能会影响晶圆洁净度,从而拉低良率,乃至让整批芯片“失效”。
此次,集团展现了整个业务流程中的“精准水质、循环回用、全厂用水整合”三大亮点。其间,在精准水质方面,晶圆厂使用Ovivo旗舰设备监测超纯水中的纳米级微粒,再调配无金属水泵,可从源头保证超纯水极致纯度与安稳供给。在循环回用上,艺康集团通过为厂区导入制程废水分流、处理与收回计划,可大起伏进步厂内水资源循环功率。在全厂用水整合层面,艺康集团打破了曩昔单一体系的约束,结合实时监测、云端办理渠道与自动化技能,串联全厂水质与能耗数据,执行精准投药、反常预警与深度剖析,帮忙企业将水办理能力转化为ESG可持续发展竞争力。